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納米定位掃描機構本體
用于對于樣本感知、掃描探針移液管的夾持、微納米級別的進給和定位；其配合相應的顯微平臺可以實現樣本材料形貌掃描、電化學分析以及細胞藥理學相關分析等。
掃描分辨率：X/Y軸向：1nm，Z軸向：1nm；
掃描Z像速度：≤250 nm/ms；
X/Y軸范圍：128×128 ~ 1024×1024；
X/Y軸分辨率：0.1 nm；
X/Y軸線性度：1%；
Z軸范圍：100 μm；
Z軸分辨率：0.1 nm；
Z軸線性度：1%；
定位范圍：X/Y軸向：15 mm，Z軸向：25 mm
定位分辨率：100 nm；
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